Solvac
Установка предназначена для нанесения металлических покрытий методом магнетронного нанесения и диэлектрических покрытий методом реактивного магнетронного нанесения c предварительной ионной очисткой поверхности.
Установка представляет собой цилиндрическую камеру, установленную на раме. Камера состоит из трех секций. Правая секция отъезжает, позволяя вести загрузку-выгрузку изделий на тележку. На левой секции смонтирована вакуумная система. В центральной секции установлены технологические устройства: три магнетрона (в качестве опции вместо одного из магнетронов может быть установлен ламповый нагреватель), источник ионов и транспортная система тележки.
Тележка (рабочий стол 1500х900) с загруженными изделиями имеет возможность сканировать под технологическими устройствами.
На изделие может быть подано электрическое смещение.
Технологические устройства установлены на телескопических направляющих, облегчает их обслуживание.
Вакуумная система установки построена на базе криогенного насоса и сухого форвакуумного насоса. В качестве опции может быть установлен второй криогенный насос для снижения предельного давления.
Система газонапуска трехканальная.
Система газонапуска трехканальная.
|
Эксплуатационные требования |
|
Потребляемая мощность |
3х380 V ± 5%, 160A/phase, 50 Hz/ 60 Hz, N, G |
|
Сжатый воздух |
6 кг/см2 |
|
Охлаждающая вода |
3-4 кг/см2, 40 л/мин |
|
Выхлоп |
DN 40 KF (рабочие газы) |
|
Азот марки «особо чистый» газообразный под давлением, кгс/см2 |
1÷1,5 |
|
Кислород марки «особо чистый» газообразный под давлением, кгс/см2 |
1÷1,5 |
|
Аргон марки «особо чистый» газообразный под давлением, кгс/см2 |
1÷1,5 |
